Targets rotatives

Cibles « bas point de fusion » réalisées par coulée continue.

Nous avons développé avec notre partenaire Ansun Protective Metals, un nouveau procédé de coulée continue pour la fabrication de cibles de dépôt sous vide. Ce procédé breveté est une coulée continue verticale de la cible autour du backing tube, ce qui assure une structure homogène sur toute la longueur de la cible.

Le monitoring en continu et l’automatisation du procédé permettent un contrôle précis de nos cibles, même pour des cibles rotatives de 4 m de long.

Cette technique permet également un contrôle du lien chimique entre le backing tube et le matériau de la cible. Cela permet une efficacité de refroidissement maximale lors de l’utilisation de la cible dans le coater.

Rotatable targets

Nous avons également optimisé la procédure de fabrication afin de permettre plusieurs rechargements des cibles rotatives, afin de diminuer les coûts.

Notre procédé de vérification et de redressage des backing tubes permet de faciliter, de contrôler et d’améliorer la qualité des backing tubes que nous recevons.

Notre contrôle non destructif  complet par Ultrason, de toute la surface de chaque cible garantit que le lien entre le backing tube et le matériau de la cible est présent sur toute la surface de contact.

D’autres alliages « bas point de fusion » sont également possibles (comme l’alliage SnZnSb).

Matériaux actuellement disponibles : Sn pur Zn pur, alliage ZnAl et alliage ZnSn.

Une nouvelle machine de coulée a été installée début 2014 dans notre bâtiment à Ellange, pour couvrir les besoins de nos clients à travers toute l’Europe.

En résumé, les avantages de nos cibles C-Cast sont :

  • Homogénéité de la structure métallographique sur  toute la longueur de la cible
  • Lien chimique entre le backing tube et les matériaux de la cible pour une efficacité de refroidissement maximale. Contrôle complet de ce lien par Ultrason avant expédition de la cible
  • Plusieurs rechargements sont possibles gràce à l’optimisation de notre procédure de fabrication
  • A chaque recharge, vérification géométrique du backing tube, et opération de redressage si nécessaire.

Exemples de produits

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Patrick Lefevre

Patrick Lefèvre
 

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